НОВОСТИ
Новый класс гетероструктур AlGaAs/GaAs
выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Читайте статью в журнале Crystals v.9, 2019
ПодробнееXIV Российская конференция по физике полупроводников в сентябре
Наши коллеги примут участие в конференции и представят ряд докладов
ПодробнееСравнительный анализ квантовых ям GaAs/GaInP и GaAs/AlGaAs
полученных в условиях МОС-гидридной эпитаксии. Читайте в журнале «Неорганические материалы», том 55, №4, 2019
Подробнее«Сигм плюс» на 18-м европейском семинаре EW-MOVPE 2019, Литва
Наши специалисты примут участие в международном семинаре по газо-фазной эпитаксии EW-MOVPE, которая пройдет в Вильнюсе с 16 по 19 июня
Подробнее"Сигм плюс" и CS Clean Solutions AG приглашают на выставку SEMIEXPO
Выставка пройдет 14-15 мая в Экспоцентре на Красной Пресне, Павильон 7. Встречаемся на стенде В12
ПодробнееEpiX - модульная система исследования полупроводниковых пластин
Система 2D картирования пластин EpiX для научно-исследовательских разработок в области полупроводниковой эпитаксии
ПодробнееXXIII международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» в марте
Наши коллеги примут участие в работе симпозиума и представят свои результаты
ПодробнееОценка условий труда по ФЗ № 426
Компания "Сигм плюс" провела обязательную оценку условий труда рабочих мест
ПодробнееУСТАНОВКИ ОСУШКИ И ОЧИСТКИ ГАЗОВ
Назначение
Установка предназначена для осушки газов (азот, аргон, гелий, водород, кислород, другие газы по запросу).
Краткое описание конструкции и работы установки
Установка состоит из двух попеременно работающих адсорберов, связанных между собой в соответствии с технологической схемой. Технологическое оборудование установки осушки газов размещается в передвижном каркасном шкафу, на лицевую панель которого вынесены управление арматурой, приборы КИП и аппаратура управления. Адсорбер предназначен для осушки газа от влаги. Адсорбер емкостью 20 литров представляет собой вертикальный цилиндрический аппарат с наружным электрообогревом и теплоизоляцией, заключенный в кожух. Внутренняя полость аппарата заполнена гранулированным синтетическим цеолитом. Аппарат снабжен сифоном, оснащенным фильтром с целью исключения уноса пыли адсорбентов, и термопарой. Установка комплектуется приборами контроля и управления для поддержания необходимых значений параметров и периодического переключения операций. С целью определения оптимальных рабочих режимов на подводящей газовой магистрали до ввода в установку и магистрали осушенного газа после установки целесообразно установить приборы контроля влажности газа.
Спецификация
|
Производительность |
5 или 15 мн3/ч * (др. по запросу) |
|
Рабочее давление |
5...10 атм(изб) (др. по запросу) |
|
Продолжительность режима очистки и осушки |
не менее 240 ч |
|
Продолжительность режима регенерации |
не более 48 ч |
|
Расход газа на регенерацию |
не более 10 лн/мин |
|
Точка росы исходного газа |
-10(2800) °С (ppm) -20(1200) °С (ppm) -60(18) °С (ppm) |
|
Точка росы осушенного газа |
не хуже -50(60)°С (ppm) не хуже -75(2,5)°С (ppm) не хуже -90(0,1)°С (ppm) |
|
Фильтрация от механических примесей |
40 (15; 7; 2; 0,01 по запросу) мкм |
Рабочая температура режима очистки и осушки |
10...40 °С |
|
Рабочая температура режима регенерации |
не выше 200 °С |
|
Мощность потребляемая |
0,3 кВт (в режиме осушки) 2 кВт (в режиме регенерации) |
|
Напряжение питания |
220 В (50Гц) |
|
Вес установки, не более |
200 кг |
|
Габаритные размеры (Г×Ш×В), мм |
650×610×1800 мм |
|
Соединение с трубопроводами подача осушенный сброс пневматика |
3/8” Swagelok 3/8” Swagelok 1/4” Swagelok 6мм цанговый |
|
Средний срок службы |
не менее 8 лет |
|
* в зависимости от типа установки |
|
Классификация по назначению
|
Осушаемый газ |
Исполнение |
Наличие гигрометра |
Автоматическое исполнение |
Дополнительные опции |
|
Инертный (азот, аргон и т.п.) |
1. Базовое |
Возможно |
Возможно |
1.Финишный суперочиститель |
|
Водород |
1. Базовое |
Возможно |
Возможно |
1.Финишный суперочиститель |
|
Кислород |
1. Базовое |
Возможно |
Возможно |
Нет |
Базовое исполнение
Установка изготавливается из комплектующих общепромышленного назначения.
Сверхчистое исполнение
Установка изготавливается с использованием арматуры, трубопроводов и фитингов Swagelok класса Ultra High Purity. Основная отрасль применения установок данного исполнения – полупроводниковая промышленность.
Финишный суперочиститель
Суперочиститель (емкость патрона 5л) на основе щелочных металлов предназначен для удаления из очищаемого газа кислорода, влаги, углеводородных соединений и представляет собой нерегенирируемый очиститель, срок службы которого зависит от степени чистоты исходного газа.
Суперочиститель НЕ МОЖЕТ применяться при очистке кислорода и воздуха.
Каталитический блок очистки от кислорода
Каталитический блок очистки позволяет удалять примесь кислорода (до 100 ppm) из водорода. Содержание кислорода в очищенном газе не превышает 5 ppm.
Данная опция может присутствовать, ТОЛЬКО если очищаемый газ – водород.
Регенерируемая система финишной очистки
Регенерируемая система финишной очистки предназначена для удаления и очищаемого газа всех примесей до уровня ppb. Данная система является регенерируемой и не требует дополнительного обслуживания.
Система НЕ МОЖЕТ применяться при очистке кислорода и воздуха.
Дополнительные услуги
Компания Сигм плюс предоставляет клиентам полный комплекс услуг:
- составление и согласование технического задания
- монтаж системы на площадке заказчика
- газовая обвязка технологического оборудования
