НОВОСТИ
Новый класс гетероструктур AlGaAs/GaAs
выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Читайте статью в журнале Crystals v.9, 2019
ПодробнееXIV Российская конференция по физике полупроводников в сентябре
Наши коллеги примут участие в конференции и представят ряд докладов
ПодробнееСравнительный анализ квантовых ям GaAs/GaInP и GaAs/AlGaAs
полученных в условиях МОС-гидридной эпитаксии. Читайте в журнале «Неорганические материалы», том 55, №4, 2019
Подробнее«Сигм плюс» на 18-м европейском семинаре EW-MOVPE 2019, Литва
Наши специалисты примут участие в международном семинаре по газо-фазной эпитаксии EW-MOVPE, которая пройдет в Вильнюсе с 16 по 19 июня
Подробнее"Сигм плюс" и CS Clean Solutions AG приглашают на выставку SEMIEXPO
Выставка пройдет 14-15 мая в Экспоцентре на Красной Пресне, Павильон 7. Встречаемся на стенде В12
ПодробнееEpiX - модульная система исследования полупроводниковых пластин
Система 2D картирования пластин EpiX для научно-исследовательских разработок в области полупроводниковой эпитаксии
ПодробнееXXIII международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» в марте
Наши коллеги примут участие в работе симпозиума и представят свои результаты
ПодробнееОценка условий труда по ФЗ № 426
Компания "Сигм плюс" провела обязательную оценку условий труда рабочих мест
ПодробнееLAYTEC
О компании LayTec
Компания LayTec была образовна в 1999 году после первоначального периода научных исследований и разработок в Техническом Университете Берлина. Сегодня LayTec является лидером в производстве датчиков для измерений в течение процесса эпитаксиального роста. Компания продолжает расти и создавать новые решения для технологий тонких слоев.
LayTec предлагает широкий ряд приборов для контроля в реальном времени МОС-гидридной (MOCVD), молекулярно-лучевой (MBE) эпитаксии и других тонкослойных процессов. Усовершенствованные приборы LayTec для контроля в реальном времени позволяют измерять с высочайшей точностью такие параметры эпитаксиального роста, как скорость роста, толщина слоя, уровни легирования, трехкомпонентный состав вещества и температура поверхности пластины.
Сенсоры EpiRAS®TT и EpiR TT (TT- True Temperature) производства фирмы LayTec на сегодняшний день являются лучшими сенсорами реального времени для контроля процессов на нескольких подложках, а EpiTT всемирно признан лучшим сенсором для производства светодиодов. Новый датчик кривизны – EpiCurve – соединяет в себе измерители температуры, скорости роста, а также изгиба пластины.
Информация об эпитаксиальном росте, полученная непосредственно в процессе роста, значительно сокращает количество циклов при исследованиях, а также позволяет превосходно контролировать качество при массовом производстве эпитаксиальных пластин.
|
модель |
скорость |
кривизна |
состав тройного |
температура |
уровень |
воспроизводимость |
типичные |
|
|
|
|
|
|
multi transient |
III-As, P, III-N |
|
|
|
|
|
|
|
multi transient |
III-As, P, III-N |
|
|
|
|
|
|
|
fully spectroscopic |
III-As, P, III-N |
|
|
|
|
|
|
|
fully spectroscopic |
III-As, P, III-N |
|
|
|
|
|
|
|
fully spectroscopic |
III-As, P |
|
|
|
|
|
|
|
multi transient |
GaN/SiC |
|
|
AbsoluT** |
|
|
|
|
|
|
|
* Pyro 400 поставляется вместе с EpiTT и обеспечивает доступ непосредственно к реальной температуре подложки при работе с GaN и ИК-прозрачными подложками (сапфир, карбид кремния), где ИК-пирометр позволяет измерить только температуру поверхности материала.
** AbsoluT - специальный инструмент, предназначенный для калибровки на месте систем LayTec: EpiTT, EpiTwin TT и EpiCurve TT.
